表面處理行業發展概況及特性發展趨勢重點企業
1、表面處理概述
表面處理既可應用于泛半導體設備零部件新品制造中，是陶瓷、硅、石英和金屬等多種材質零部件新品生產的工序之一；也可用于清潔零部件使用中形成的污染，是保障工藝制程穩定和制造良率的重要配套服務；還可用于對消耗性部件再生改造，改善或克服基材弱點，如陶瓷材料質脆、裂紋敏感、抗熱震性能差、高溫機械性能下滑。其中，針對新品制造的表面處理服務需求規模相對較小（僅考慮由設備制造原廠委托專業第三方表面處理服務廠商的部分，不包括設備制造原廠自行實施的部分），僅約占整體市場規模的5%；對使用后零部件的表面處理約占整體市場規模的95%，是行業主要需求來源。
表面處理行業經歷了產業鏈分工演化過程。半導體、顯示面板行業發展初期，表面處理作為設備銷售的重要配套服務之一，僅由設備制造原廠實施。二十世紀九十年代以來，隨著全球半導體、顯示面板行業快速發展，行業制造分工逐漸細化，開始出現專業第三方表面處理供應商，將表面處理（尤其是精密清洗）外包逐漸成為行業趨勢。在設備的質保期內，晶圓廠和顯示面板制造商基本仍由設備制造原廠提供表面處理服務，或由其分包予第三方企業，而質保期外的表面處理服務則由設備制造原廠、第三方表面處理廠商開展市場化競爭。在質保期外市場，第三方表面處理廠商相比設備制造原廠具備屬地配套服務、交付及時和快速響應等諸多優勢，在產業鏈專業化分工的趨勢下，專業表面處理廠商的市場地位得到進一步鞏固。第三方廠商業務包括精密清洗、陽極氧化和熔射等。
（1）精密清洗
在泛半導體設備制造和使用過程中，污染物會附著在設備零部件表面，尤其是腔室內零部件由于直接暴露在工藝反應中，表面會吸附多種副產物。為保證泛半導體制造良率以及工藝穩定性，需要階段性洗凈零部件以有效控制污染物，因此精密清洗是泛半導體制造過程中必不可少的配套服務。
目前，精密清洗主要采用物理清洗、化學清洗等方式去除設備零部件的表面污染物。通過設計藥液配方，并合理安排處理工序、處理時間和處理溫度等，滿足高效、批量和低成本的洗凈需求。
（2）陽極氧化
陽極氧化是鋁和鋁合金材質零部件常用的表面處理方法，將金屬置于特定環境下電解液中作為陽極，使其表面形成幾十至幾百微米的氧化膜，通過精確管控涂層粗糙度、膜厚等，可有效提高腔室部件對工藝反應環境的耐電壓性能和耐腐蝕性能。
（3）熔射
熔射是設備零部件表面改性（性能改良）的重要技術手段，使用少量材料制備特殊功能的涂層，可起到大量、昂貴的整體塊材難以起到的作用，同時極大地降低成本。具體包括等離子熔射、電弧熔射、火焰熔射和爆炸熔射等。
1）等離子熔射
產業化較為成熟的熔射工藝之一。等離子噴槍將電能轉化為熱能，氧化釔、氧化鋁、氟化釔或氟氧化釔等粉料經高溫熔化后，形成中心溫度達到10,000~50,000℃高溫的高速等離子焰流，熔化并沉積到各類材質的零部件基體表面，以提高其耐腐蝕性。
2）TWAS雙電弧鋁熔射
利用大電流產生的電弧熔化兩股線狀鋁材，使用高速氣流將熔化的鋁霧化，并加速噴向陶瓷基材，從而在氧化鋁陶瓷零部件表面涂覆鋁層，達到增加部件表面粗糙度的效果，提高陶瓷零部件在泛半導體工藝中的吸附能力。
2、行業的周期性和區域性特征
（1）行業周期性
下游泛半導體行業的技術發展和供需平衡等受產品周期、資本開支周期、研發周期等因素影響，下游行業需求的周期性亦使得表面處理行業具有周期性特點。當前表面處理行業仍然處在快速發展階段，市場需求整體呈現螺旋增長趨勢，不存在周期性衰退。
（2）行業區域性
表面處理具有一定的服務半徑，其區域性主要由下游晶圓廠、顯示面板廠分布的區域性所決定，中國大陸相關需求主要集中在華東、東南、西南等區域。
3、表面處理的新技術發展情況及發展趨勢
（1）工藝技術、服務品質持續升級
半導體行業制程工藝持續提高，對表面處理服務的技術水平要求日益提升。顯示面板領域，高世代線的建設使得設備部件尺寸增加，表面處理的操作難度相應增加；LTPS TFT-LCD、OLED等新工藝的推廣，對清洗潔凈度、涂層性能指標要求越來越高，表面處理相應的配方和工藝要求也隨之提升。日益激烈的市場競爭也要求企業持續改善表面處理服務品質，不斷提高營運效率，縮短交付時間。
表面處理此前主要服務于半導體和顯示面板設備零部件清洗和再生改造，但隨著國內企業對高附加值先進陶瓷材料零部件研發探索的深入，表面處理作為先進陶瓷生產流程重要部分，其重要性也日益凸顯。未來隨著陶瓷加熱器、靜電卡盤等高精尖產品的國產化，也將繼續推動國內企業在包括接觸凸點加工精密噴砂、精密研磨拋光等工藝的技術水平快速升級。
（2）表面處理工藝手段更加多樣化
隨著半導體和顯示面板行業的技術發展，設備部件功能日益豐富，對表面處理服務類型需求也趨于多元化。在現有精密清洗、陽極氧化和熔射等處理方式的基礎上，出現了多種新工藝，包括新舊部件的優化改造及工藝升級、TWAS熔射、特種形貌噴砂等。同時，對現有表面處理工藝的要求亦有升級，例如在部件噴砂服務基礎上，進一步延伸出現了精密噴砂需求。
（3）下游應用場景多元化
提供表面處理服務的企業在立足半導體及顯示面板行業的同時，正在大力投入相關資源以升級現有的表面處理技術，向民用航空、新能源和工業耐磨件等應用場景擴展。
4、表面處理的新業態、新模式發展趨勢
（1）企業綜合服務能力要求不斷提高
表面處理領域，出于降本增效目的，半導體和顯示面板領域客戶對一站式精密清洗、陽極氧化和熔射等綜合服務能力要求日趨提高。表面處理企業需要全面掌握多種業務技術能力，以增強客戶粘性，應對日趨激烈的市場競爭。
（2）行業競爭差異化
在當前的行業環境下，本土表面處理企業的競爭策略出現了明顯的分化。行業中部分企業通過價格競爭等手段快速進入技術已經較成熟的領域，謀求快速提升市場份額；其他部分企業在中高端領域、高附加值細分領域加大研發和投入，增強技術實力，擴展業務領域，實現差異化競爭。
5、行業代表企業
資料來源：普華有策
更多行業資料請參考普華有策咨詢《2022-2028年表面處理行業細分市場分析及投資前景專項報告》，同時普華有策咨詢還提供產業研究報告、產業鏈咨詢、項目可行性報告、十四五規劃、BP商業計劃書、產業圖譜、產業規劃、藍白皮書、IPO募投可研、IPO工作底稿咨詢等服務。