前道量檢測設備行業面臨的機遇和挑戰行業主要企業
半導體設備行業中，前道量檢測設備主要運用光學技術、電子束技術等測量晶圓的薄膜厚度、關鍵尺寸等，或檢測產品表面存在的雜質顆粒、機械劃傷、晶圓圖案缺陷等，貫穿光刻、刻蝕、薄膜沉積、CMP 等晶圓制造的全部工序。前道量檢測設備根據使用目的可分為測量設備和檢測設備：其中，測量設備主要是對晶圓的薄膜厚度、關鍵尺寸、套準精度、刻蝕深度、表面形貌等進行測量，以確保其符合參數的設計要求；而檢測設備主要用于識別并定位產品表面存在的雜質顆粒沾污、晶圓圖案缺陷、微觀缺陷觀測、機械劃傷等問題。
資料來源：普華有策
1、前道量檢測設備行業面臨的機遇
（1）國家政策的大力支持
半導體產業是現代經濟社會發展的戰略性、基礎性和先導性產業，已成為當前衡量一個國家或地區綜合競爭力的重要標志。為鼓勵、推動產業發展，國家出臺了一系列財政、稅收政策。2017 年 1 月，發改委發布的《戰略性新興產業重點產品和服務指導目錄》將半導體專用設備產業列入戰略性新興產業重點產品目錄。2021 年 3 月，“十四五”規劃將集成電路設計工具、重點裝備等特色工藝突破作為加強原創性、引領性科技攻關的重點任務。前道量檢測設備領域也受益于國家對半導體產業的支持政策，迎來了良好的發展機遇。
（2）下游需求持續增長
汽車電子、消費電子等終端應用領域的繁榮發展，推動了我國晶圓制造產線建設步伐加快。數據顯示，2017 年至 2020 年間，全球投產的晶圓廠約 62 座，其中 26 座設于中國大陸；至 2020 年末，全球晶圓產能達到每月 3,184萬片，其中，中國大陸晶圓產能占全球比例為 15.8%。
下游晶圓制造產線的快速建設，對前道量檢測設備需求持續增長。2016 年至 2020 年，中國大陸前道量檢測設備市場規模由 7.0 億美元增長至 21.0 億美元，年復合增長率達到 31.61%，市場規模占全球量檢測設備市場的比例由 14.71%增長至 27.45%，已成為全球增速最快且占比最大的前道量檢測設備市場。
（3）我國成熟制程產線對前道量檢測設備的需求缺口亟需緩解
由于國際龍頭企業逐步不再生產成熟制程前道量檢測設備，且前道量檢測設備的國產化率僅為 2%，我國成熟制程晶圓制造產線面臨著較大的供應缺口。前道量檢測修復設備作為市場的重要組成，有效緩解了成熟制程設備供應緊張的局面，支持了我國半導體產線的建設。
2、前道量檢測設備行業面臨的挑戰
（1）專業人才仍相對匱乏
前道量檢測設備涉及多學科技術，是典型的技術密集型、人才密集型產業。雖然我國半導體產業已儲備了一定的技術人員，但仍難以滿足市場需求的快速增長，專業人才仍相對匱乏。
（2）國內企業整體技術水平及綜合實力仍與國際先進水平存在一定差距
日本、美國等國家在前道量檢測設備領域起步較早，擁有大量的技術積累和完善的產業鏈配套環境，在經營規模、產品種類、技術水平、品牌聲譽等方面具備領先優勢，綜合實力強。我國前道量檢測設備產業起步較晚，國內企業在整體技術水平、企業規模、人才儲備、產品品類等方面仍與國際先進水平存在一定差距。
3、前道量檢測設備行業內主要企業
前道量檢測設備市場的供應格局相對集中，主要由 KLA、AMAT、Hitachi等國際龍頭企業主導，其在銷售規模、產品種類及先進程度、市場占有率等方面具備領先優勢。近年來，隨著我國半導體產業的快速發展，下游對前道量檢測設備需求快速增長，涌現了中科飛測、上海精測、睿勵儀器、無錫卓海等具備前道量檢測設備供應能力的企業，具體如下：
（1）全球主要的前道量檢測設備企業
1）KLA
KLA 是一家為半導體、印刷電路板和顯示器等行業提供工藝支持解決方案的供應商。在半導體量檢測領域，其產品線涵蓋了質量控制全系列設備。目前為美國納斯達克證券交易所上市企業，股票代碼：KLAC。
2）AMAT
AMAT 成立于 1967 年，是一家為半導體、顯示器和相關行業提供設備、服務和軟件的制造商及供應商，其產品涵蓋刻蝕設備、離子注入機、晶圓量檢測等各類半導體設備。目前為美國納斯達克證券交易所上市企業，股票代碼：AMAT。
3）Hitachi
Hitachi 成立于 1910 年，是一家涉及電力、能源、產業、流通、水、城市建設、金融、醫療健康等領域的全球 500 強企業。在半導體設備領域，其為全球第三大前道量檢測設備供應商。目前為美國紐約證券交易所上市企業，股票代碼：HTHIY。
（2）國內前道量檢測設備供應企業
1）中科飛測
深圳中科飛測科技股份有限公司專注于檢測和量測兩大類集成電路專用設備的研發、生產和銷售，產品主要包括無圖形晶圓缺陷檢測設備系列、圖形晶圓缺陷檢測設備系列、三維形貌量測設備系列、薄膜膜厚量測設備系列等。
2）上海精測
上海精測半導體技術有限公司主要從事半導體測試設備為主的研發、生產和銷售，同時也開發一部分顯示和新能源領域的檢測設備，產品主要包括膜厚測量機、激光切割機等，系武漢精測電子集團股份有限公司（精測電子，300567）的控股子公司。
3）睿勵儀器
睿勵科學儀器（上海）有限公司主要從事集成電路生產制造工藝裝備產業中的工藝檢測設備的研發、生產和銷售，主要產品包括光學薄膜測量設備、光學關鍵尺寸測量設備、缺陷檢測設備等，系中微半導體設備（上海）股份有限公司（中微公司，688012）的參股子公司。
4）吉姆西
吉姆西半導體科技（無錫）有限公司主要從事半導體修復設備和研磨液供液系統等業務，涵蓋 CMP、離子注入、量檢測、光刻、涂膠顯影、清洗等半導體修復設備，系半導體修復設備供應企業。
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